晶圆板厚度测量接触型传感器厂家-厦门中技创技术解决

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    2022-5-23

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厦门中技创机电技术有限公司是工业自动化系统成套解决方案的提供者,致力于各类工业传动自动化领域的系统控制、软件开发、电气驱动、机械传动、传感应用、深得客户的---和长期支持。

大流量的测量

随着为提高xiao率推向大型化规模生产,流量仪表也经历了一轮向大口径扩展的变革,晶圆板厚度测量接触型传感器,如电磁流量计口径大已经达3m,超声流量计已经能用到5-10m管道。


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日本曾发表可发信的小流量浮子流量计,称做(semiflow)流量计,如图所示,浮子延伸下端为磁铁7,由磁敏元件10检出其位置。位置与输出信号关系如图所示。接触液体部件均由氟塑料制成。小规格的满度流量为30ml/min,范围度5:1,测量精度为±6%fs。



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电磁流量计

它的优点是测量通道是无阻扰的直管,晶圆板厚度测量接触型传感器厂家,无潴留部位。与液体接触的仅是氟塑料内壁测量管和白金等电极,晶圆板厚度测量接触型传感器厂家,具有---耐腐蚀性适宜于测各种药液,但不能测低电导率≤-10e6s/cm的纯水、酒精等。若仅从小流量这一视点作比较,电磁流量计不是强项,因为口径小比常用口径仪表小的多,流速不能用得过低,因此小流量相对较大。




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